|
|
Электрометр 6517B/E
Электрометр Keithley 6517B представляет из себя быстродействующий прецизионный малошумящий (уровень шумов 0,75 фАп-п) 6½ разрядный мультиметр, который предназначен для измерения малых токов с высоким разрешением (от 10 аА), высоких сопротивлений пета-и эксаомного (до 1018 Ом) диапазонов, напряжений от источников с высоким импедансом, зарядов, температуры и влажности; а также содержит встроенный источник питания на ±1 кВ.
Возможные области применения
- Измерение токов от оптических датчиков света, например, темновой ток
- Исследование пучков
- Тестирование солнечных батарей
- Тестирование наноматериалов и нанокомпонентов, например полимеры созданные на основе нанотехнологий
- Измерение токов утечки изоляторов, переключателей, реле и других устройств
- Измерение токов смещения
- Измерение сопротивлений диэлектриков, изоляторов и др. непроводящих материалов
- Измерение характеристик датчиков и сенсоров
- Тестирование оптоволоконных устройств
Технические характеристики
Режим измерения тока
|
Диапазон
|
Разрешение
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
Темп. коэффициент
0-18°C & 28°C-50°C
|
|
20 пА
|
10 аА
|
1% + 3 фА
|
0,1% + 500 аА
|
|
200 пА
|
100 аА
|
1% + 5 фА
|
0,1% + 1 фА
|
|
2 нА
|
1 фА
|
0,2% + 300 фА
|
0,1% + 20 фА
|
|
20 нА
|
10 фА
|
0,2% + 500 фА
|
0,03% + 100 фА
|
|
200 нА
|
100 фА
|
0,2% + 5 пА
|
0,03% + 1 пА
|
|
2 мкА
|
1 пА
|
0,1% + 100 пА
|
0,005% + 20 пА
|
|
20 мкА
|
10 пА
|
0,1% + 500 пА
|
0,005% + 100 пА
|
|
200 мкА
|
100 пА
|
0,1% + 5 нА
|
0,005% + 1 нА
|
|
2 мА
|
1 нА
|
0,1% + 100 нА
|
0,008% + 20 нА
|
|
20 мА
|
10 нА
|
0,1% + 500 нА
|
0,008% + 100 нА
|
Режим измерения напряжения
|
Диапазон
|
Разрешение
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
Темп. коэффициент
0-18°C & 28°C-50°C
|
|
2 В
|
1 мкВ
|
0,025% + 40 мкВ
|
0,003% + 20 мкВ
|
|
20 В
|
10 мкВ
|
0,025% + 300 мкВ
|
0,002% + 100 мкВ
|
|
200 В
|
100 мкВ
|
0,06% + 3 мВ
|
0,002% + 1 мВ
|
Входной импеданс >200 ТОм
Режим измерения заряда
|
Диапазон
|
Разрешение
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
Темп. коэффициент
0-18°C & 28°C-50°C
|
|
2 нКл
|
1 фКл
|
0,4% + 5
|
0,04% + 3
|
|
20 нКл
|
10 фКл
|
0,4% + 5
|
0,04% + 1
|
|
200 нКл
|
100 фКл
|
0,4% + 5
|
0,04% + 1
|
|
2 мкКл
|
1 пКл
|
0,4% + 5
|
0,04% + 1
|
Режим измерения сопротивления (обычный метод)
|
Диапазон
|
Разрешение
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
Темп. коэффициент
0-18°C & 28°C-50°C
|
Источник напряж.
|
Диапаз. тока
|
|
2 МОм
|
1 Ом
|
0,125% + 10 Ом
|
0,01% + 10 Ом
|
40 В
|
200 мкА
|
|
20 МОм
|
10 Ом
|
0,125% + 100 Ом
|
0,01% + 100 Ом
|
40 В
|
20 мкА
|
|
200 МОм
|
100 Ом
|
0,15% + 1 кОм
|
0,015% + 1 кОм
|
40 В
|
2 мкА
|
|
2 ГОм
|
1 кОм
|
0,225% + 10 кОм
|
0,035% + 10 кОм
|
40 В
|
200 нА
|
|
20 ГОм
|
10 кОм
|
0,225% + 100 кОм
|
0,035% + 100 кОм
|
40 В
|
20 нА
|
|
200 ГОм
|
100 кОм
|
0,35% + 1 МОм
|
0,110% + 1 МОм
|
40 В
|
2 нА
|
|
2 ТОм
|
1 МОм
|
0,35% + 10 МОм
|
0,110% + 10 МОм
|
400 В
|
2 нА
|
|
20 ТОм
|
10 МОм
|
1,025% + 100 МОм
|
0,105% + 100 МОм
|
400 В
|
200 пА
|
|
200 ТОм
|
100 МОм
|
1,15% + 1 ГОм
|
0,125% + 1 ГОм
|
400 В
|
20 пА
|
Индикация сопротивлений (в ручном режиме выбора диапазонов) до 1018 Ом
Режим измерения сопротивления (дельта-метод)
до 1016 Ом.
Используется высокорезистивная камера Keithley 8009
См. полное описание
Источник питания
|
Диапазон
|
Разрешение
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
Темп. коэффициент
0-18°C & 28°C-50°C
|
Макс.
выходной ток
|
|
100 В
|
5 мВ
|
0,15% + 10 мВ
|
0,005% + 1 мВ
|
± 10 мА
(огран. <14 мА)
|
|
1000 В
|
50 мВ
|
0,15% + 100 мВ
|
0,005% + 10 мВ
|
± 1 мА
(огран. <1,4 мА)
|
Время установления: <8 мс (для диапазона 100 В), <50 мс (для диапазона 1000 В)
Уровень шума (0,1 Гц…10 Гц): <2,6 мВскз (для диапазона 100 В), <2,9 мВскз (для диапазона 1000 В)
Режим измерения температуры (не включая погрешность термопары)
|
Термопара
|
Диапазон измерения
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
|
К - типа
|
-25 °С…150 °С
|
±(0,3% + 1,5 °С)
|
Режим измерения влажности (не включая погрешность датчика влажности)
|
Диапазон измерения
|
Точность (1 год)
23°C ±5°C
|
|
0…100%
|
±(0,3% + 0,5%RH)
|
Общие характеристики
- Разрешение дисплея: 6½ разряда
- Дисплей: вакуумно-флюорисцентный
- Выбор диапазонов: автоматический или ручной
- Возможность многоканального тестирования (до 10 каналов) со сканерными платами
по току 6521 (30 В/500 мА/10 ВА)
по току и напряжению 6522 (200 В/500 мА/10 ВА)
- Максимальное напряжение на входе: 250 Впик
- Аналоговый выход: 2 В на полной шкале и выход предусилителя с возможностью записи на ленточный самописец
- Скорость считывания: 425 измер./с (во внутренний буфер), 400 измер./с (в IEEE-488), 3300 измер./с (по шине)
- Память: до 50000 сохранений
- Цифровой фильтр: медианный и усредняющий
- Интерфейс: RS-232, IEEE-488, Trigger Link, Digital I/O
- Потребляемая мощность: 100 ВА
- Питание 100 / 120 / 220 / 240 В ± 10%, 50 / 60 Гц
- Размеры 90х214х369 мм
- Вес 5,4 кг
Стандартная комплектация
- Прибор
- Триаксиальный-кабель с низким уровнем шумов 2 м (237-ALG-2)
- Комплект высоковольтных кабелей (8607)
- Термопара K-типа, открытый спай, 90 см (6517-TP)
- Коннектор (CS-1305)
Статьи, публикации
- Знакомство с методами измерений малой мощности, малого напряжения и малого сопротивления.
Наноматериалы и наноустройства в последнее время находят все более широкое применение в различных областях, в т.ч., например, полупроводниковой индустрии. Публикация Роберта Грина (Robert Green) - ведущего специалиста компании Keithley Instruments является наглядным пособием, в которой представлены, как теоретические основы, так и практические советы и рекомендации по измерению малой мощности, малого напряжения, малого сопротивления и других характеристик графена, углеродных нанотрубок, других наноматериалов и наноустройств.
- Возможности приборов Keithley для применения в области нанотехнологий
Мировой лидер по производству прецизионных измерительных приборов Keithley обеспечивает непрерывно расширяющийся список приборов для измерений в области нанотехнологий. Приборы компании Keithley предлагают возможность выполнить высокоточное тестирование за разумные деньги. В ассортиментном ряде приборов имеются как приборы для измерения сверхмалых токов и сверхбольших сопротивлений (пикоамперметры 6485 и 6487 , электрометры 6517B), так и приборы для измерения малых напряжений (нановольтметры 2182). Кроме того, Keithley предлагает комбинированные приборы, т.н. источники-измерители серий 2400 и 2600A, которые сочетают в себе источник тока и напряжения, мультиметр, электронную нагрузку. Более того, модель источника-измерителя 6430 позволяет работать в субфемтоамперном диапазоне (6430). В ассортименте компании Keithley имеются и полностью интегрированные многоканальные системы для измерения параметров полупроводников, например Keithley 4200-SCS.
Назад в раздел
|
|
